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產品分類品牌分類

直流電源（DC）: AE Ascent Series TDK-Lambda Series AE PE Ⅱ Series AE MDX Series Sorensen MKS KYOSAN HPK Series ADL AE Pinnacle Series

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

遠程等離子源（RPS）: AE XSTREAM Series MKS Paragon Series MKS ASTRON Series AE Rapid Series

匹配器（RF Match）: AE Fixed Match DAIHEN HRM Series ENI MWH Series NIHON KOSHUHA AMC ULVAC MBX Series DAIHEN RMN Series DAIHEN FRM Series DAIHEN AMN Series COMET ASE AE Navio Series AE Mercury Series AE Navigator Series ADTEC AMVG Series

微波電源: NIHON KOSHUHA MKS ASTEX Series

其他產品: Monitor Bird連接線 Beckhoff UPS Servo Amplifier RGA RF Terminations OZONE Generator RF Power Meter

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產品簡介詳細介紹

MKS 射頻電源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW 是一款緊湊、輕量級的射頻產品，具有各種用戶界面和功能，包括自動頻率調諧、快速瞬態恢復和脈沖。

MKS 射頻電源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW Spectrum RF Generator 射頻發生器是MKS的一款新型射頻發生器平臺，可提供1.5kW ~ 11kW的各種頻率功率，以滿足半導體行業薄膜加工日益增長的需求。高可靠性的設計確保了設備改進后的工藝性能和良率。MKS Spectrum Series 設備功率控制精確，響應時間快，熱穩定性好，精度高。MKS Spectrum 系列射頻電源具有優秀的工藝穩定性，精準的控制能力和優良可靠的成膜能力，成膜速度快，在半導體制程薄膜工藝中被廣泛應用。

技術參數

AC 電源輸入：200 ~ 208V，3 phase ~，60A，50/60Hz

RF 射頻輸出：8500W（Max.），1.8 ~ 2.17MHz

電機扭力：8.5 ~ 10.0 LB. FT. 120 ~ 140 KGF/CM

散熱方式：水冷散熱

水冷進水需求：水流（Min.）11.4L/Min（3GAL/Min）

水冷水溫：＋35℃（Max.）

進水水壓：60 PSI / 414 kPa（Max.）

通信接口：POD / RS -232

設備重量：57kg （125lbs）

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