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產品分類品牌分類

直流電源（DC）: AE Ascent Series TDK-Lambda Series AE PE Ⅱ Series AE MDX Series Sorensen MKS KYOSAN HPK Series ADL AE Pinnacle Series

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

遠程等離子源（RPS）: AE XSTREAM Series MKS Paragon Series MKS ASTRON Series AE Rapid Series

匹配器（RF Match）: AE Fixed Match DAIHEN HRM Series ENI MWH Series NIHON KOSHUHA AMC ULVAC MBX Series DAIHEN RMN Series DAIHEN FRM Series DAIHEN AMN Series COMET ASE AE Navio Series AE Mercury Series AE Navigator Series ADTEC AMVG Series

微波電源: NIHON KOSHUHA MKS ASTEX Series

其他產品: Monitor Bird連接線 Beckhoff UPS Servo Amplifier RGA RF Terminations OZONE Generator RF Power Meter

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產品簡介詳細介紹

MKS ASTRON2L RPS AX7687-85半導體遠程等離子源是在半導體產線沉積和蝕刻室清潔工藝中的發揮關鍵作用的子組件，可以消除工藝副產物從室壁積聚，增加工藝工具的壽命，并減少薄膜污染的來源。

MKS ASTRON2L RPS 半導體遠程等離子源 是經過長期驗證的具有優良性能和高可靠性的高性能遠程等離子體源，是沉積和蝕刻室清潔工藝的關鍵子組件，消除了工藝副產物從室壁積聚，增加工藝工具的壽命，并減少薄膜污染的來源。ASTRON Series RPS 廣泛應用在半導體各制程的清潔環節中，可以以各種不同的配置安裝在硅晶圓或大面積基板工藝室上。ASTRON Series RPS效果良好且更加經濟可靠，為CVD室清潔，FPD（平板顯示器）提供所需的反應氣體室清潔，太陽能室清潔，光刻膠堆灰，氧化，氮化和化學消減。

MKS ASTRON2L RPS 半導體遠程等離子源 技術參數

設備型號：Astron AX7687-85

P/N 0190-41326W

AC輸入： 208V ~，3 phase ~，50/60Hz，30A

散熱方式：水冷散熱

水冷水壓：100 PSIG（Max.）

通信接口：RS-232 / Cust I/O

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