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一、ACU20FD-LH 反應(yīng)釜充氣質(zhì)量流量計及流量控制器 產(chǎn)品概述：

1、精度更高，響應(yīng)更快，帶網(wǎng)口；

2、管狀分流，不易堵塞；

3、適用于各種低壓和高壓管道；

4、預(yù)熱時間短，零漂小，可靠性高；

5、模擬量輸入 / 輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量；

6、數(shù)字量 采用 RS232/485 MODBUS協(xié)議，還可選協(xié)議包括：Devicenet，Profibus，Ethercat等。

二、產(chǎn)品應(yīng)用：

可適用于多種需要快速響應(yīng)的氣體應(yīng)用，例如：可以滿足反應(yīng)釜充氣流量測量及控制的快速響應(yīng)需求等。

三、ACU20FD-LH 反應(yīng)釜充氣質(zhì)量流量計及流量控制器 產(chǎn)品參數(shù)：

滿量程范圍：2SCCM～6000SLM（0~0.02SCCM~6000SLM）

準 確  度：±0.5%F.S

線       性：±0.5%F.S
重復精度：±0.2%F.S
響應(yīng)時間：流量計：＜0.1s ；流量控制器：<0.2s
數(shù) 字  量：RS232/485，MODBUS協(xié)議等
模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V
供       電：±15VDC，24VDC
工作溫度：0～60℃
工作壓降：<0.01Mpa(流量計）
工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）
耐       壓：3MPa/10MPa
漏       率：1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù)：±0.025%F.S/℃
底座材質(zhì)：不銹鋼
密封材質(zhì)：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，F(xiàn)FKM/FFPM等

接       頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8",1/2",1"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。

如果所需性能要求與上述性能不同，可以溝通定制。