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JW-220ZKD-真空加熱臺頂升烤膠機恒溫加熱板
  • JW-220ZKD-真空加熱臺頂升烤膠機恒溫加熱板
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貨物所在地:湖北武漢市

地: 湖北省武漢市新技術開發區光谷科技港1棟

更新時間:2025-03-06 11:58:45

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真空加熱臺頂升烤膠機恒溫加熱板:一種用于半導體封裝、LED制造等領域的精密設備,多用于光刻工藝中的前烘、中烘和后烘,如涂膠后的軟烘,暴光后烘,顯影后的堅膜,磨片粘片熔臘等芯片粘接、固化等工藝過程中的烘烤環節。其核心特點在于具備頂升功能,能夠實現烘烤過程中的精準時間和溫度控制,確保產品工藝品質。

真空加熱臺頂升烤膠機恒溫加熱板

產品特點:

l 配置硬質陽極氧化鋁耐腐蝕加熱面板

l 加熱面板均勻性好,溫控精度高,不易變形,耐腐蝕,同時具有升溫迅速,程序段控溫,控溫精準等優點

l 7寸全彩觸摸屏,高級工業PLC控制,可實現自動升降,定時取片

l 可以設置頂針高度,實現無接觸式烤膠

l 可實現在真空或氮氣環境下的各種樣品加熱實驗

真空加熱臺頂升烤膠機恒溫加熱板

技術參數:

1.加熱面板尺寸:220*220mm可支持最大8寸晶圓)

2.外形尺寸:380X440X440mm 真空腔體內部尺寸:長270*寬270*高170mm

3.加熱面板材質:陽極氧化鋁合金

4.控溫范圍:室溫-160℃,溫度分辨率:0.1℃ 溫度均勻性:±1%   控溫精度:±0.1 ℃ 溫度恒定時)

5.電動頂針調節高度:  0-30mm  頂升方式:自動或手動

6.支持定時升降,可儲存6組程序配方,每組配方30個加熱階段

7.最大真空度:0.1MPa

9.電源輸入:220V   1000W    

10.支持 4  6 7 8 寸基片限位

實物圖片如下:



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