在半導(dǎo)體、材料科學(xué)等領(lǐng)域進(jìn)行變溫微區(qū)電學(xué)測(cè)試時(shí),探針針尖與樣品的精準(zhǔn)、穩(wěn)定接觸是獲取可靠數(shù)據(jù)的關(guān)鍵。
果果儀器為美國華盛頓州公立大學(xué)(University of Washington)交付外部調(diào)節(jié)探針冷熱臺(tái),實(shí)現(xiàn)變溫電學(xué)測(cè)試。
典型應(yīng)用場(chǎng)景:
1、半導(dǎo)體器件在低溫/高溫下的電學(xué)特性微區(qū)測(cè)試
2、材料相變點(diǎn)附近的局部電導(dǎo)/熱導(dǎo)測(cè)量
3、納米材料、低維材料在變溫條件下的物性表征
產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù):
溫度范圍:-190℃~400℃
溫度穩(wěn)定性:±0.1℃
探針:同軸探針*4
探針位移行程:±6mm
探針接口:三同軸BNC
腔室:真空
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)