目錄:賽默飛電子顯微鏡>>透射電子顯微鏡（TEM）>> 半導(dǎo)體計量透射電鏡 Metrios AX TEM
| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 熱場發(fā)射 |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工 |
半導(dǎo)體計量透射電鏡 Metrios AX TEM主要特點
全新設(shè)計，提供可重復(fù)的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具備計量能力的計量器。
TEM 和 STEM 失真和放大率校正的組合誤差小于 0.75%。
通過自動化獲取和量化 EDS 數(shù)據(jù)。使用關(guān)鍵尺寸元件對比度來擴(kuò)展 STEM。
通過樣品制備、提取和成像跟蹤關(guān)鍵工藝數(shù)據(jù)。計量可離線應(yīng)用，從而極大增加工具采集時間。所有成像和計量數(shù)據(jù)均整合在基于網(wǎng)絡(luò)的圖像查看器中。
高壓范圍 (kV) | 60-200 kV | |
信息限度 200 kV (nm) | 0.11 | |
未校正 | 探頭校正* | |
STEM HAADF 分辨率 (nm) 200 kV |
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STEM HAADF 分辨率 (nm) 80 kV |
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用于水平和垂直的 MetroCal 晶片的計量精密度 |
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電子源 |
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超穩(wěn)定電子設(shè)備和高壓 |
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隔音罩 |
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恒定功率透鏡 |
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壓電載物臺 |
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探頭校正器兼容 |
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