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| 應用領域 | 化工 |
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光譜干涉_白光干涉_膜厚測量_納米膜厚測量 光譜干涉傳感器HCI-500系列
光譜干涉測量傳感器基于薄膜干涉原理，薄膜可以是透明固體、液體或由兩塊玻璃所夾的氣體薄層。入射光經薄膜上表面反射后得第一束光，折射光經薄膜下表面反射，又經上表面折射后得第二束光，這兩束光在薄膜的同側，由同一入射光振動分出，是相干光，屬分振幅干涉。當由一組波長組成的白光入射到薄膜上時，某些波長的光被增強，而某些波長的光則被減弱。通過對混合的兩個波前產生的光干涉條紋進行光譜分光，測算干涉信號的頻率光譜，計算解析出被測樣品的厚度（或層間隙）。
納米膜厚測量 光譜干涉傳感器
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