lintec-mfc/MC-7000系列特征？

時間：2023/11/18閱讀：533

快速響應質量流量控制器

響應時間200毫秒的超高速質量流量控制器。

使用熱傳感器實現 100 毫秒（典型值）的高速流量控制。琳得科的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實現腐蝕性氣體的超高速流量控制。

±1.0% SP的高精度流量精度，數字通信方式可選擇DeviceNet和EtherCAT。

特征

超高速流量控制200msec
精度±1%SP
工作溫度5-50℃
金屬密封
清潔（保證顆粒）
環境溫度補償傳感器
EtherCAT通訊
DeviceNet™ 通信

使用示例

快速蝕刻工藝

在半導體制造工藝中，需要在小型化的同時提高產量。即使對于控制反應氣體流量的質量流量控制器，對更短的流量控制啟動（上升）時間的需求也在不斷增加。超高速質量流量控制器[MC-7000]是流量傳感器與流量測量氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器，實現了200℃的超高速響應。毫秒。由于是非接觸式，因此可以在測量腐蝕性氣體的流量時進行高速流量控制。

規格表

_溫度	_最小壓差	_最大壓差	_準確性	_控制范圍	_{最小滿量程}	_{最大滿量程}	_貼紙
_5~50℃	_50kPa	_300kPa	_±1%SP	_{2~100%滿量程}	_5SCCM	_20SLM	_金

lintec-mfc/MC-7000系列特征？

快速響應質量流量控制器

特征

使用示例

快速蝕刻工藝

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