日本yako-sangyo 半導體氣體擴散器SUS316L
氣體擴散器是主要防止負載鎖定室向大氣開放時晶圓等受到污染、縮短排氣循環時間、提高系統吞吐量的擴散器。
?元件部分SUS316L
?也可用于高溫應用。
?尺寸緊湊，可靠性高，可承受沖擊和振動。
日本yako-sangyo 半導體氣體擴散器SUS316L
氣體擴散器是主要防止負載鎖定室向大氣開放時晶圓等受到污染、縮短排氣循環時間、提高系統吞吐量的擴散器。
?元件部分SUS316L
?也可用于高溫應用。
?尺寸緊湊，可靠性高，可承受沖擊和振動。
氣體擴散器概述
1.流量范圍廣，從 6 到 300 SLPM。
2.與高純度半導體氣體兼容。
3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動效率，同時最大限度地減少壓降。
4.5Ra 電解拋光表面可防止內部污染。
5.為了滿足半導體工藝標準，我們在用去離子水清洗后用高溫氮氣進行烘烤。
日本yako-sangyo 半導體氣體擴散器SUS316L
氣體擴散器是主要防止負載鎖定室向大氣開放時晶圓等受到污染、縮短排氣循環時間、提高系統吞吐量的擴散器。
?元件部分SUS316L
?也可用于高溫應用。
?尺寸緊湊，可靠性高，可承受沖擊和振動。
氣體擴散器概述
1.流量范圍廣，從 6 到 300 SLPM。
2.與高純度半導體氣體兼容。
3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動效率，同時最大限度地減少壓降。
4.5Ra 電解拋光表面可防止內部污染。
5.為了滿足半導體工藝標準，我們在用去離子水清洗后用高溫氮氣進行烘烤。
化工儀器網