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EBARA荏原EV-S型節(jié)省空間用干式真空泵

產(chǎn)品介紹
的轉(zhuǎn)子設(shè)計和空轉(zhuǎn)功能實現(xiàn)了能效和緊湊性。有助于降低運(yùn)行成本。此外，還提供耐腐蝕材料選項，以適應(yīng)各種應(yīng)用，從裝載鎖和 SEM 等輕型應(yīng)用到腐蝕工藝。

EBARA荏原EV-S型節(jié)省空間用干式真空泵

產(chǎn)品介紹

轉(zhuǎn)子設(shè)計和空轉(zhuǎn)功能實現(xiàn)了的能效和緊湊性。有助于降低運(yùn)行成本。此外，還提供耐腐蝕材料選項，以適應(yīng)各種應(yīng)用，從裝載鎖和 SEM 等輕型應(yīng)用到腐蝕工藝。

荏原株式會社（以下簡稱“荏原"）精機(jī)電子公司藤澤工廠今年5月干式真空泵累計出貨量達(dá)到15萬臺。這是自1986年第一臺機(jī)器發(fā)貨以來，時隔32年取得的成就。

直到 20 世紀(jì) 80 年代，油旋轉(zhuǎn)泵一直是半導(dǎo)體制造工藝中使用的主流真空泵，但隨著對更清潔的真空環(huán)境的需求隨著集成度的提高而增加，我們應(yīng)用了我們的核心競爭力——旋轉(zhuǎn)機(jī)械技術(shù)，我們已經(jīng)將干式真空商業(yè)化。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵。我們的干式真空泵不僅能產(chǎn)生潔凈的真空，而且采用非接觸式密封結(jié)構(gòu)，減少了維護(hù)頻率。利用這些功能，應(yīng)用目前已從半導(dǎo)體和顯示器制造擴(kuò)展到太陽能電池、LED、鋰離子二次電池和各種分析設(shè)備等廣泛的行業(yè)。

根據(jù)中期管理計劃（E-Plan2019）的措施，荏原將在2019年之前啟動生產(chǎn)效率大幅提高的干式真空泵全自動化工廠，深化與海外生產(chǎn)基地的合作，并繼續(xù)響應(yīng)半導(dǎo)體市場的穩(wěn)定需求和各領(lǐng)域客戶的要求。

便攜式EV-PA型等小型節(jié)能風(fēng)冷式、水冷式干式真空泵、實現(xiàn)更高流量的廢氣處理裝置、實現(xiàn)半導(dǎo)體超微細(xì)制造的CMP裝置、Fan-out等我們將展示對封裝技術(shù)至關(guān)重要的電鍍設(shè)備，以及消除導(dǎo)致良率下降的晶圓邊緣缺陷的斜角拋光設(shè)備。

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