熱式質量流量計和控制器利用流體（包括氣體和液體）的熱導率來確定質量流量。與體積流量測量裝置例如吹掃儀表（可變面積-VA流量計）或渦輪儀表不同，熱式質量流量計（MFMs）和質量流量控制器（MFCs）相對受流入介質的溫度和壓力波動影響較小。
熱式質量流量計和控制器工作原理
熱式質量流量計/控制器可提供質量流量的直接測量，與大多數其他測量體積流量和需要單獨測量溫度和壓力來換算密度并最終計算質量流量的原理不同。
質量流量儀表實際在分子水平上測量和控制流量，可向工藝流程提供準確、可重復和可靠的氣體輸送。
熱式質量流量計和控制器可分為3種不同的傳感器原理：
1.氣體熱式質量流量傳感器，使用旁路原理
2.氣體熱式質量流量傳感器，使用直通/CTA原理
3.液體熱式質量流量傳感器，使用直通/CTA/CPA原理
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