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顯微鏡 LED曝光系統(tǒng) UTA系列，為不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光設(shè)備。
使用金相顯微鏡和 LED 光源 DLP 光機，即可在涂布光阻的基板上進行數(shù)個微米 分辨率的曝光。
Pattern 形狀可以使用計算機繪圖自由制作。
可在一般環(huán)境操作，樣品外觀及尺寸限制小，價格比一般電子束曝光機更便宜、方便性更高，可以降低研發(fā)成本。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
LED顯微曝光系統(tǒng)
介紹：
1)顯微鏡 LED曝光系統(tǒng) UTA系列，為不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光設(shè)備。
2)使用金相顯微鏡和 LED 光源 DLP 光機，即可在涂布光阻的基板上進行數(shù)個微米 分辨率的曝光。
3)Pattern 形狀可以使用計算機繪圖自由制作。
4)可在一般環(huán)境操作，樣品外觀及尺寸限制小，價格比一般電子束曝光機更便宜、方便性更高，可以降低研發(fā)成本。
LED顯微曝光系統(tǒng)
使用案例：
√形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量測用試料之電極。
√Mo 原石取出薄片，形成原石特性評估的電極。
特色：
1、使用顯微鏡和 DLP 組合之曝光系統(tǒng)，可比既有系統(tǒng)擁有更具性價比。
2、軟件操作簡便，可以自由繪制曝光Pattern。
3、透過物鏡倍率選擇，調(diào)整曝光范圍大小與分辨率。
4、可以制造微米等級尺寸的 Pattern 。
