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產品介紹
原廠原裝！！日本ENERGYS 微量氧分析儀 SH-304
原廠原裝！！日本ENERGYS 微量氧分析儀 SH-304
傳感器和接收器可以分離
重量輕、結構緊湊，可集成到設備中
低濃度（0-10 ppm范圍）
用法
半導體制造設備：擴散爐、RTP、各種N2爐氣氛測量、空氣分離設備
| 格式 | TF-21D201（TF-21型傳感器+DTF-201型接收器） | |
|---|---|---|
| 傳感器 | TF-21 | |
| 接收者 | DTF-201 | |
| 測量原理 | 氧化鋯濃差電池系統 | |
| 測量范圍 | 最小 0-10 ppm 至最大 0-100% 四個范圍可選，零點固定 | |
| 校準 | 空氣點 + 最多可校準 4 點 | |
| 輸出 | 4 至 20mA DC x 1 點（非絕緣輸出，負載電阻 600Ω 或更小） 0 至 1V DC 或 0 至 5V DC 或 0 至 10V DC x 1 點可選（非絕緣輸出） | |
| 樣氣/校準氣流量 | 0.5±0.02升/分鐘。 | |
| 準確性 | 重復性 | ±1% FS（小于0至1%范圍）±0.5% FS（0至1%范圍或以上） |
| 線性 | ±1% FS（0 至 1% 或以上）、±2% FS（0 至 1% 以下）、±3% FS（0 至 100 ppm 以下） | |
| 響應時間 | 0-1% 或以上：10 秒或更短 0-1% 或更短：30 秒或更短 *通過切換校準氣體可實現 90% 的響應 | |
| 漂移 | ±2%FS/周以下 | |
| 電源 | AC85至132V *選項：AC170至264V，DC24V±10% | |
| 接點輸入（無電壓接點輸入） | 范圍切換輸入 | |
| 接點輸出 （開路集電極輸出， DC25V，最大50mA ，NO/NC可切換） | 分析儀異常 量程回波（2 量程鑒別） 量程回波（3 量程鑒別） READY 濃度上限報警（可設定 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%） 濃度下限報警（可設定 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%） *從上面選擇 4 點，可以更改設置 | |
| 量程切換 | 本地量程切換 / 遠程量程切換 / 自動量程切換 *從上面選擇并更改設置 | |
| 輸出HOLD設置 | 無、任意值或錯誤發生前 5 秒的值。 *預熱期間或傳感器或接收器發生錯誤時按住。 | |
| 濃度上下限報警 | 上限報警：可設定0.0～9990.0 ppm或0.0～100.0% 下限報警：可設定0.0～9990.0 ppm或0.0～100.0% | |
| RS232C通訊功能 | 傳輸測量狀態、錯誤代碼、測量范圍、測量值。 通信電纜規格：直通電纜 | |
| 格式 | SH-304 | |
|---|---|---|
| 傳感器 | TF-21 | |
| 接收者 | DTF-201 | |
| 測量原理 | 氧化鋯濃差電池系統 | |
| 測量范圍 | 0-10 / 100 / 1,000 ppm, 0-100% * 最小 0-10 ppm ~ 最大 0-100% 可在零點固定的情況下選擇 4 個量程中的任意一個 | |
| 校準 | 空氣點 + 最多可校準 4 點 | |
| 輸出 | DC4～20mA×1點（非絕緣輸出，負載電阻600Ω以下） DC0～1V×1點（非絕緣輸出） | |
| 樣氣/校準氣流量 | 0.3±0.05升/分鐘。 | |
| 準確性 | 重復性 | ±1% FS（小于0至1%范圍）±0.5% FS（0至1%范圍或以上） |
| 線性 | ±3% FS（0 至小于 100 ppm）±2% FS（0 至小于 1%）±4% FS（0 至 1% 或以上） | |
| 響應時間 | 0-1% 或以上：10 秒或更短 0-1% 或更短：30 秒或更短 *通過切換校準氣體可實現 90% 的響應 | |
| 漂移 | ±2%FS/周以下 | |
| 電源 | DC24V±10% | |
| 接點輸入（無電壓接點輸入） | 范圍切換輸入 | |
| 接點輸出 （開路集電極輸出， DC25V，最大50mA ，NO/NC可切換） | 分析儀異常 READY 濃度上限報警（可設置范圍 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%） 濃度下限報警（可設置范圍 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%） 量程回波（2 個量程鑒別） 量程回波（3 個量程鑒別） * 前 4 項為標準，后 2 項也可更改。 | |
| 量程切換 | 自動量程切換 * 還可以選擇遠程量程和本地量程切換并更改設置 | |
| 輸出HOLD設置 | 在異常發生前 5 秒保持該值。 *預熱期間或傳感器或接收器發生異常時保持 。*您也可以選擇不保持或保持任意值。 | |
| 濃度上下限報警 | 上限報警：可設定0.0～9990.0 ppm或0.0～100.0% 下限報警：可設定0.0～9990.0 ppm或0.0～100.0% | |
| RS232C通訊功能 | 傳輸測量狀態、錯誤代碼、測量范圍、測量值。 通信電纜規格：直通電纜 | |
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