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供應簡介

ULVAC愛發科日本精品進口真空計
用于太陽能電池、FPD、半導體和電子元件等各種設備的低真空區域的過程控制。
?用于熔爐等各種工業設備的低真空區域的過程控制。
?用于在線型、單晶圓型等具有多個工藝室的各種制造設備的低真空區域的工藝控制。

詳細介紹

ULVAC愛發科日本精品進口真空計

產品特點：

皮拉尼真空計可測量從大氣壓到5×10 _-2
Pa的寬范圍壓力。此外，該真空計去除了傳統控制器的操作和顯示部分，將其縮小到最少的必要功能，從而可以“降低成本"和“節省空間"。
[特點] -廣域測量：可以測量
從大氣壓到5 x 10 _-2 Pa的廣域。
- 節省布線：集成傳感器和控制器可減少布線、空間和功耗。
?提高可視性：配備LED，可以檢查異常情況。
?可進行一鍵式調整：可通過一鍵式進行氣壓調整和零點調整。
?維護：探頭更換方便。
- 燈絲材料采用耐腐蝕性強的鉑金。
?測量值輸出信號：壓力為標準配備，日志輸出為DC0至10V。
?提高耐沖擊性：采用高耐沖擊性的結構設計。
?控制輸出信號：可輸出2個設定點。
- 兼容標準：符合CE標準。
[應用] -
用于太陽能電池、FPD、半導體和電子元件等各種設備的低真空區域的過程控制。
?用于熔爐等各種工業設備的低真空區域的過程控制。
?用于在線型、單晶圓型等具有多個工藝室的各種制造設備的低真空區域的工藝控制。

規格/尺寸信息

種類

[壓力傳感器] 壓力傳感器

傳感器/監視器結構

分離型/連接器連接

工作溫度范圍（℃）

10～40

工作濕度范圍（%）

15～80

測量壓力范圍（Pa）

5.0×10 ^-2～1.0×10 ⁺⁵

電源電壓

DC18?30V

外形尺寸寬×深×高（毫米）

70×46×28

規格

無操作/顯示（帶探頭）

控制輸出信號

2個設定點

串行通訊規格

沒有任何

工作溫度范圍（℃）

10～40

測量頭

包括 SWP-16

13717023088

規格/尺寸信息

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