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變電站監測六氟化硫（SF6）的目的主要包括以下幾點：

1. 保障人員安全：SF6氣體在常溫常壓下為無色無臭無毒的氣體，但當它遭遇劇烈的高溫電弧作用時，會分解產生有毒的低氟化物，如SOF2、SO2F2、SOF4等。這些分解產物可能對工作人員的健康構成威脅。因此，監測SF6氣體的濃度是為了確保工作環境的安全，防止人員中毒。

2. 保證設備安全：SF6氣體在電力系統中主要作為絕緣和滅弧介質使用。如果發生泄漏，不僅會影響設備的絕緣性能，還可能導致設備內部壓力下降，進而引發其他故障。通過監測SF6氣體的濃度，可以及時發現并處理泄漏問題，保證設備的正常運行。

3. 環境保護：SF6是一種強效的溫室氣體，其全球變暖潛能遠高于二氧化碳。因此，減少SF6氣體的排放不僅是對環境負責，也是電力企業履行社會責任的重要體現。通過在線監測系統，可以有效地控制和減少SF6氣體的泄漏。

綜上所述，變電站監測六氟化硫的目的在于保障人員和設備的安全，同時也有助于環境保護。