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瑞典FIXTURLASER軸對準系統FIXTURLASER ECO
天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷英國INTELLEMETRICS晶圓視覺系統VS3
產品型號:VS3
產品介紹:35年來,我們一直在為光學涂層和等離子體蝕刻行業開發現場監測和控制儀器。Intellemetrics推出了一系列晶圓視覺系統,專門設計用于在負載鎖定真空蝕刻和沉積室內觀察圖案化晶圓,以檢查是否已加載正確的晶圓,并確認相對于掩模圖案的對齊和放置。圖像分辨率取決于工作距離和視場,但通常在5mm的工作距離(適用于ICP蝕刻和沉積室)和600mm視場下可以獲得7μm的分辨率。
性能特點:
5 M 像素高分辨率相機圖像
共線晶圓照明
成像距離從100mm到1000mm
可見特征尺寸低至 5um
手動和電動對焦選項
參數:
產地:英國
攝像頭:
傳感器類型:CMOS
傳感器尺寸:5像素,2560 x 1920像素
像素大小:2.2um
電源要求:
接口:GigE
電源:12至24 Vdc
功耗:3.5W
是否進口:是
封裝:廠家制定
性能:良好
可靠性:高
天津瑞利光電科技有限公司于2016年成立,坐落于渤海之濱天津,地理位置得天獨厚,交通運輸便利,進出口貿易發達。憑借著歐洲的采購中心,我們始終為客戶提供歐美工業技術、高新科技等發達國的光電設備、光學儀器、機電設備及配件、電氣成套設備、工業自動化控制設備產品,同時擁有多個品牌的授權經銷和代理權。
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