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VTC-100PA-Ⅱ真空旋轉涂膜機

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更新時間:2024-03-07 23:26:38瀏覽次數:627

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產品簡介

2、真空度可以達到-0.08MPa

詳細介紹











2、真空度可以達到-0.08MPa。


3、上蓋具有加熱功能,加熱溫度范圍室溫—150℃。


4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。


產品簡介: VTC-100PA- Ⅱ真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于 強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備, 該儀器上蓋具有加熱功能, 可在涂膠后直接完成烤膠的工藝操作。設 備標配兩個不同大小的真空吸盤, 可根據樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。 VTC-100PA- Ⅱ真空旋轉涂 膜機工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設備可儲存 12 組程序,每組程序包含 6 個運 行階段。不同運行階段設備轉數不同, 使設備緩慢提升速度限速度, 有利于薄膜材料在樣品表面均勻 成膜,且不會過多浪費,節約材料。VTC-100PA- Ⅱ真空旋轉涂膜機具有操作簡單、清理方便,體積小巧等 優點,主要應用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。

img1















5、根據樣件規格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。


6 、電機采用直流無刷電機,無級調速,可靠性高,適應性強,維修與保養簡單,噪音低,震 動小,運轉平穩,啟動快速穩定,加速后運行平穩,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。


7、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。


8、腔體采用聚丙烯材質,使用壽命更長, 提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能; 機身 采用鑄鋁結構,結實耐用且質輕。


9、全英文操作系統。


10、具有開蓋保護功能,當涂膜過程中或涂膜結束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止。


11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機控制系統,數值顯示更直觀可靠。

技術參數

1、電源: 220V    50HZ


2、電機功率: 350W/24V


3、速度范圍: 500rpm-10000rpm


4、程序運行: 可儲存 12 組程序, 每組程序包含 6 個運行階段,每段時間范圍: 060s。


5、增減速率設置范圍: 100rpm/s-2000rpm/s


6、上蓋加熱功能: 加溫范圍 RT-150℃;

加熱蓋,及吸盤采用聚四氟乙烯材質;


溫度單獨控制,與主機程序控制無關聯

產品規格

尺寸: 450mm×280mm×340mm;重量: 20kg

標準配件

1

真空吸盤(含 O 型圈)




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2 個(?19mm  ?60mm

2

中心定位器(含 4 個定位柱)

1 






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3

滴膠注射器(20ml


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1 

4

注射器支架

1 

5

無油真空泵


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1 

6

橡膠管(含卡箍)

1 


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