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產(chǎn)品簡介
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產(chǎn)品簡介：SGC-10 薄膜測厚儀適用于介質(zhì)，半導(dǎo)體，薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚
度測量。該薄膜測厚儀，是我公司與美國 new-span 公司合作研制的，采用 new-span 公司
的薄膜測厚技術(shù)，基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（折射率n，消光
系數(shù)k）。SGC-10 薄膜測厚儀通過分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干
形成的反射譜，用相應(yīng)的軟件來擬合運算，得到單層或多層膜系各層的厚度d，折射率 n
，
| 產(chǎn)品型號 | SGC-10 薄膜測厚儀 |
| 主要特點 | 1、非接觸式測量，用光纖探頭來接收反射光，不會破壞和污染薄膜； 2、測量速度快，測量時間為秒的量級； 3、可用來測薄膜厚度， 也可用來測量薄膜的折射率 n 和消光吸收k； 4、可測單層薄膜，還可測多層膜系； 5、可廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)，半導(dǎo)體，液晶等透明半透明薄膜材料； 6、軟件的材料庫中整合了大量材料的折射率和消光系數(shù)，可供用戶參考； 7、內(nèi)嵌微型光纖光譜儀，結(jié)構(gòu)緊湊, 光纖光譜儀也可單獨使用。 8、強大的軟件功能： 界面友好，操作簡便，用戶點擊幾下鼠標就可以完成 測量。便捷快速的保存、讀取測量得到的反射譜數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)處理功能強大，可 同時測量多達四層的薄膜的反射率數(shù)據(jù)。一次測量即可得到四層薄膜分別的 厚度和光學(xué)常數(shù)等數(shù)據(jù)。材料庫中包含了大量常規(guī)的材料的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)。 用戶可以非常方便地自行擴充材料數(shù)據(jù)庫。 |
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9、儀器具有開放性設(shè)計，儀器的光纖探頭可很方便地取出，通過儀器附帶 的光纖適配器 （如圖所示） 連接到帶 C-mount 適用于微區(qū)（>10 μm
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，與顯微 鏡放大率有關(guān)） 薄膜厚度的顯微鏡 （顯微鏡需另配） 
，就可以使本測量儀測 量。 
| 技術(shù)參數(shù) | 1、厚度范圍： 20nm-50um （只測膜厚）， 100nm-25um （同時測量膜厚 和光學(xué)常數(shù) n ，k），根據(jù)薄膜材料的種類，其范圍有所不同。 2、準確度： <1nm 或<0.5% 3、重復(fù)性： 0.1nm 4、波長范圍： 380nm-1000nm 5、可測層數(shù)： 1-4 層 6、樣品尺寸： 樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm 7、測量速度： 5s-60s 8、光斑直徑： 1.2mm-10mm 可調(diào) 9、樣品臺： 290mm*160mm 10、光源： 長壽命溴鎢燈（2000h） 11、光纖： 純石英寬光譜光纖 12、探測器： 進口光纖光譜儀 13、電源： AC110V-240V ，50HZ-60HZ |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 300mm*300mm*350mm，重量： 18kg |