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產品簡介
產品簡介：真空熱壓爐OTF-1200X-VHP4是在真空高壓下制備致密化合物材料的理想工具，在5T壓力下可鍵合多層基片
詳細介紹
產品簡介： 真空熱壓爐 OTF-1200X-VHP4 是在真空高壓下制備致密化合物材料的理想工具， 在 5T 壓力下 可鍵合多層基片。本機可以加熱到 1100 ℃，并設有 30 段控溫程序。
產品型號 | 真空熱壓爐 OTF-1200X-VHP4 |
安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 |
1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） | |
2、電： AC380V 50Hz（63A 空氣開關），必須有良好接地 | |
3 、氣： 設備腔室內需充注氬氣（純度 99.99%以上） ，需自備氬氣氣瓶（自帶 ?6mm 雙卡套接 | |
頭） | |
4、工作臺： 尺寸 1500mm×600mm×700mm ，承重 200kg 以上 | |
5、通風裝置：需要 | |
主要特點 | 1、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和潔凈度，同時延長使用壽命。 |
2、石英管兩端設有帶水冷的法蘭。 | |
3 、在石英管內真空環境下，通過底部可調整彎管移動液壓柱，將壓力傳輸到模具。 | |
技術參數 | 1、輸入電源： AC 220V 50Hz/60Hz 6KW |
2、輸出功率： 2.2KW | |
3、石英管： 外徑 ?100mm ，內徑 ?95mm ，長 1200mm |
4、加熱區域： 300mm 5、工作溫度： 1100℃ | |
6、控溫精度：± 1℃ 7 、電動壓力泵負載： 20T 8、氣缸： ?25mm 9、可移動行程： 15mm 10、壓力： 6T（壓力表顯示 10MPa） 12、真空度： 10-2torr （機械泵）， 10-5torr （分子泵） | |
產品規格 | 尺寸： 1050mm×750mm×1750mm；重量： 365kg |
可選配件 | 1、真空泵 2、循環水冷機 |
3、耐高溫壓力模具 |