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wkfluidhandling高純度電子計量泵、氣動泵 PEM050/PPM100 特點(diǎn)介紹
PEM050電子步進(jìn)泵精確地在聚四氟乙烯流體路徑中分配1-50毫升的腐蝕性介質(zhì),用于化學(xué)補(bǔ)充、混合、加藥和加注。
這些可靠的泵具有支持的滾動隔膜,最大限度地提高了放電壓力能力。
積極的控制閥通過消除典型的止回閥的變化來確保準(zhǔn)確性.他們提供多達(dá)5個可獨(dú)立控制可編程系統(tǒng)邏輯的放電端口。
ppm100氣動計量泵精確地在聚四氟乙烯流體路徑中提供高達(dá)100毫升的高純度化學(xué)品。
它與一個支持滾動膜片操作,以最大限度的放電壓力能力。兩個正控制閥通過消除典型的止回閥的變異性來確保準(zhǔn)確性。
wkfluidhandling高純度電子計量泵、氣動泵 PEM050/PPM100 規(guī)格參數(shù)
于單濾液加工工具或預(yù)混容器,以確保精確的化學(xué)混合物,并允許直接在頭部現(xiàn)場混合。
該泵精確地分配高純度的化學(xué)品,以補(bǔ)充,混合,劑量和加注的應(yīng)用,以及清潔的簡歷設(shè)備和光刻。
它們非常適合光刻膠、蝕刻和清潔工藝,在食人魚混合物中添加過氧化物,以及在引入襯底物之前將化學(xué)混合物混合到加工槽中。
可調(diào)沖程速度
安全、無泄漏操作,無維護(hù)
無暴露金屬防止腐蝕和污染
超純應(yīng)用的全流式流體路徑
帶PP外殼的聚氯乙烯軋式膜片
視覺位置參考,便于安裝和監(jiān)控
易于安裝和使用管理連接/外安裝服務(wù)
可在任何方向安裝
清潔室裝配、測試和包裝
漏檢港
自燃
緊湊的足跡
最小滯留量
正進(jìn)出口閥門防止通過
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