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日本technomu高精度非接觸式平面度測(cè)量裝置 TFL2100 特點(diǎn)介紹
使用激光位移傳感器，在旋轉(zhuǎn)工件的同時(shí)，以非接觸方式高精度測(cè)量工件表面高度方向的位移量，并使用專用軟件以2D和3D方式顯示數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。
被測(cè)量的物體可以從薄到厚，從輕到重。
日本technomu高精度非接觸式平面度測(cè)量裝置 TFL2100 規(guī)格參數(shù)
? 以低成本實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量
? 快速數(shù)據(jù)采集
? 由于是非接觸式，因此無(wú)需擔(dān)心損壞測(cè)試對(duì)象。
? 被測(cè)物體的影響很小
? 能夠測(cè)量重物
? 底座采用石質(zhì)平臺(tái)，旋轉(zhuǎn)軸采用氣動(dòng)主軸，實(shí)現(xiàn)驚人的表面跳動(dòng)精度。
? 照片中的設(shè)備外徑為800Φ，可承載重達(dá)200kg的工件。
? 我們將根據(jù)工件制作測(cè)量臺(tái)等（請(qǐng)咨詢我們）。
? 測(cè)量面積：2英寸至12英寸以上
? 測(cè)量方式：旋轉(zhuǎn)掃描法
? 可用的激光位移計(jì)：三角測(cè)量、共焦、光譜干涉激光、多激光同軸
? 分辨率：~0.001μm（最大）
規(guī)格10mm±1mm三角測(cè)距式半導(dǎo)體激光器650nm可見(jiàn)光CLAS10.3mW0.01μm（注1）±45mmX=380mm（MAX）Y=400 mm（MAX）2μm/STEP100mm/SEC10μm以內(nèi)±2μm以內(nèi)5μm以內(nèi)360°0.0036/STEP10rpm（測(cè)定速度）φ600（可搭載工件φ800）200Kg10μm以內(nèi)5μm以下（φ600圓周上）PC/AT兼容機(jī)5相微步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器USB1.1/2.0約W433 H140×D255 7Kg以下5000數(shù)據(jù)/轉(zhuǎn)速20（MAX）PC軟件平面度測(cè)量專用程序
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