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碳化硅襯底位錯缺陷光學無損檢測系統特點

SiC襯底位錯缺陷檢測專用設備

光學非接觸無損檢測

BPD、TSD、TED分類識別

SiC襯底：4'/6'/8';導電、半絕緣

碳化硅襯底位錯缺陷光學無損檢測系統：最高檢測速度：＜17 min/片（6"）

大連創銳光譜科技有限公司基于自主創新的時間分辨光譜技術，致力于推動光譜技術在科研和工業領域的深入應用。在科研儀器領域，創銳光譜由一線專家帶隊，是目前國內極少具備瞬態光譜獨立研發-生產-應用完整能力體系的團隊。創銳光譜以時間分辨光譜核心技術，超快瞬態吸收光譜系統為核心產品，打破進口壟斷格局。主要產品包括瞬態吸收光譜系統、共聚焦熒光成像系統、DPSS納秒激光器及高速探測器。在工業半導體檢測領域，公司以光譜技術創新為核心立足點，已迅速完成碳化硅襯底、外延、氮化鎵、鈣鈦礦電池等多領域布局。