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數顯氣體質量流量計 MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。
產品特點
精準質量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
低壓損可選
集成顯示器可選
經濟有效的解決方案
主要參數
介質要求
潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%-100% F.S.
準確度 ±0.5% F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
傳感器響應時間<1s
預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳
機械特性
最大工作壓力 3 MPa（30bar）
工作壓差范圍 0-1 MPa
工作溫度范圍 -20~65℃（環境和氣體）
溫度范圍 0 ~ 98%無凝露
氣路接頭類型 快插、快擰、卡套、VCR（可選）
氣體接觸材質 氟橡膠、316不銹鋼
密封材質 氟橡膠 FKM
防護等級 IP40
安裝方式 水平安裝方向校準
固定孔 M4 ? 5mm
重量 0.82kg
電氣和通訊
電氣連接接口類型 DB-9 公頭
模擬信號 0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）
輸入輸出阻抗
輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<1KΩ
模擬數據更新頻率 200Hz
數字信號 RTU （RS232， RS485），CAN
通信速率 9600（默認），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（可修改）
電源 15-40 VDC，<200 mA
顯示更新頻率 50Hz
模擬信號精度 ±0.05%F.S.
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