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MFC330-微小氣體質(zhì)量流量控制器廠家
  • MFC330-微小氣體質(zhì)量流量控制器廠家
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貨物所在地:江蘇蘇州市

地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)

更新時間:2025-03-24 09:09:36

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微小氣體質(zhì)量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進(jìn)入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

微小氣體質(zhì)量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進(jìn)入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

微小氣體質(zhì)量流量控制器廠家

產(chǎn)品特點

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大:0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2,10,20,50,100,300,500 sccm

0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

測量范圍  0.5%F.S.(1:200)

控制范圍  1%-100% FS.(1:100)

準(zhǔn)確度  ±1% F.S.

重復(fù)精度 ±0.2%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時間<3 秒

預(yù)熱時間 5 min(T95),30 分鐘最佳

閥門 常閉式

機(jī)械特性

最大工作壓力  3 MPa(30bar)

工作壓差范圍  0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃(環(huán)境和氣體)

濕度范圍  0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型  卡套、VCR、快插、快擰(可選)

氣體接觸材質(zhì)  氟橡膠、304/316不銹鋼

密封材質(zhì)  氟橡膠 FKM

防護(hù)等級  IP40

安裝方式  水平安裝方向校準(zhǔn)

固定孔  M4 ? 5mm

重量   0.96kg



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