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MFM330-熱式質量流量計
  • MFM330-熱式質量流量計
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貨物所在地:江蘇蘇州市

地: 蘇州市吳江區柳胥路99號 半導

更新時間:2025-03-24 09:20:48

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熱式質量流量計MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

熱式質量流量計MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

主要參數
  • 介質要求
    潔凈干燥氣體
  • 氣體種類
    98+氣體可選
  • 量程
    10,20,50,100,300,500 sccm
    0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
  • 測量范圍
    0.5%-100% F.S.
  • 準確度
    ±0.5% F.S.
  • 重復精度
    ±0.2%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.001 sccm(<10L/min),1sccm(10-50L/min)
  • 傳感器響應時間
    <1s
  • 預熱時間
    5 min(T95),30 分鐘最佳

機械特性    最大工作壓力  3 MPa(30bar)

工作壓差范圍  0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃(環境和氣體)

濕度范圍  0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型  快插、快擰、卡套、VCR(可選)

氣體接觸材質  氟橡膠、316不銹鋼

密封材質  氟橡膠 FKM

防護等級  IP40

安裝方式  水平安裝方向校準

固定孔  M4 ? 5mm

重量  0.82kg

電氣和通訊

電氣連接接口類型  DB-9 公頭

模擬信號  0 - 5 VDC,4 - 20 mA(可定制)

輸入輸出阻抗  輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ

模擬數據更新頻率  200Hz

數字信號  RTU (RS232, RS485),CAN

通信速率  9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,115200 bps(可修改)

電源  15-40 VDC,<200 mA

顯示更新頻率  50Hz

模擬信號精度  ±0.05%F.S.



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