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熱式質量流量計MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

• 介質要求

  潔凈干燥氣體
• 氣體種類

  98+氣體可選
• 量程

  10，20，50，100，300，500 sccm
  0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
• 測量范圍

  0.5%-100% F.S.
• 準確度

  ±0.5% F.S.
• 重復精度

  ±0.2%F.S.
• 線性度

  ±0.2%F.S.
• 分辨率

  0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
• 傳感器響應時間

  <1s
• 預熱時間

  5 min（T95），30 分鐘最佳

機械特性    最大工作壓力  3 MPa（30bar）

工作壓差范圍  0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃（環境和氣體）

濕度范圍  0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型  快插、快擰、卡套、VCR（可選）

氣體接觸材質  氟橡膠、316不銹鋼

密封材質  氟橡膠 FKM

防護等級  IP40

安裝方式  水平安裝方向校準

固定孔  M4 ? 5mm

重量  0.82kg

電氣和通訊

電氣連接接口類型  DB-9 公頭

模擬信號  0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

輸入輸出阻抗  輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<1KΩ

模擬數據更新頻率  200Hz

數字信號  RTU （RS232， RS485），CAN

通信速率  9600（默認），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（可修改）

電源  15-40 VDC，<200 mA

顯示更新頻率  50Hz

模擬信號精度  ±0.05%F.S.