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MFC330-氧氣氣體質量流量控制器
  • MFC330-氧氣氣體質量流量控制器
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貨物所在地:江蘇蘇州市

地: 蘇州市吳江區柳胥路99號 半導

更新時間:2025-03-26 09:05:24

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氧氣氣體質量流量控制器?氣體質量流量控制器(MFC)是一種用于精確測量和控制氣體質量流量的設備?。
該設備的工作原理基于流體力學和傳熱原理,通過質量流量傳感器測量氣體流經管道時的壓差和溫度變化,進而計算出氣體的質量流量,并通過控制閥門調節氣體流量,使其保持在設定的范圍內?。

氧氣氣體質量流量控制器?氣體質量流量控制器(MFC)是一種用于精確測量和控制氣體質量流量的設備?。

該設備的工作原理基于流體力學和傳熱原理,通過質量流量傳感器測量氣體流經管道時的壓差和溫度變化,進而計算出氣體的質量流量,并通過控制閥門調節氣體流量,使其保持在設定的范圍內?。

技術參數

主要參數

介質要求 潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm

0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

測量范圍  0.5%F.S.(1:200)

控制范圍  1%-100% FS.(1:100)

準確度  ±1% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應時間<3 秒

預熱時間 5 min(T95),30 分鐘最佳

閥門 常閉式

機械特性
  • 最大工作壓力
    3 MPa(30bar)
  • 工作壓差范圍
    0-1 MPa
  • 工作溫度范圍
    -20~65℃(環境和氣體)
  • 濕度范圍
    0 ~ 98%無凝露
  • 氣路接頭類型
    卡套、VCR、快插、快擰(可選)
  • 氣體接觸材質
    氟橡膠、304/316不銹鋼
  • 密封材質
    氟橡膠 FKM
  • 防護等級
    IP40
  • 安裝方式
    水平安裝方向校準
  • 固定孔
    M4 ? 5mm
  • 重量
    0.96kg



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