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氧氣氣體質量流量控制器?氣體質量流量控制器（MFC）是一種用于精確測量和控制氣體質量流量的設備?。
該設備的工作原理基于流體力學和傳熱原理，通過質量流量傳感器測量氣體流經管道時的壓差和溫度變化，進而計算出氣體的質量流量，并通過控制閥門調節氣體流量，使其保持在設定的范圍內?。
技術參數
主要參數
介質要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%F.S.（1:200）
控制范圍 1%-100% FS.（1:100）
準確度 ±1% F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應時間<3 秒
預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳
閥門 常閉式
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