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MFC300-微小氣體質量流量控制器
  • MFC300-微小氣體質量流量控制器
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貨物所在地:江蘇蘇州市

地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導

更新時間:2025-05-06 10:18:33

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微小氣體質量流量控制器MFC300 系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

微小氣體質量流量控制器MFC300 系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。微小氣體質量流量控制器

產品特點

超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應

高重復性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置

主要參數(shù)

介質要求  潔凈干燥無腐蝕性氣體

氣體種類  Air,N2,02,Ar,CH4,CO2

測量和控制范圍  0.2%-100%F.S. (1:500)

準確度  ±0.5%F.S.

重復精度  ±0.5%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)

傳感器響應時間  5ms

控制響應時間  300ms

預熱時間  ≤1s

閥門  常閉式



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