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MFC330-氫氣質量流量控制器
  • MFC330-氫氣質量流量控制器
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貨物所在地:江蘇蘇州市

地: 蘇州市吳江區柳胥路99號 半導

更新時間:2025-05-07 09:20:36

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氫氣質量流量控制器(MFC)是一種用于精確測量和控制氣體質量流量的設備?。
該設備的工作原理基于流體力學和傳熱原理,通過質量流量傳感器測量氣體流經管道時的壓差和溫度變化,進而計算出氣體的質量流量,并通過控制閥門調節氣體流量,使其保持在設定的范圍內?。

氫氣質量流量控制器(MFC)是一種用于精確測量和控制氣體質量流量的設備?。

該設備的工作原理基于流體力學和傳熱原理,通過質量流量傳感器測量氣體流經管道時的壓差和溫度變化,進而計算出氣體的質量流量,并通過控制閥門調節氣體流量,使其保持在設定的范圍內?。

氫氣質量流量控制器

產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大:0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

主要參數

介質要求   潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2,10,20,50,100,300,500 sccm

0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

測量范圍  0.5%F.S.(1:200)

控制范圍  1%-100% FS.(1:100)

準確度  ±1% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

控制響應時間<3 秒

預熱時間  5 min(T95),30 分鐘最佳

閥門  常閉式



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