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MFC300-熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家
  • MFC300-熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家
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貨物所在地:江蘇蘇州市

地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào) 半導(dǎo)

更新時(shí)間:2025-05-09 15:30:07

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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家

產(chǎn)品特點(diǎn)

超快響應(yīng):5ms 測(cè)量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無(wú)需預(yù)熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置

技術(shù)參數(shù)

主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體

氣體種類  Air,N2,02,Ar,CH4,CO2

測(cè)量和控制范圍  0.2%-100%F.S. (1:500)

準(zhǔn)確度  ±0.5%F.S.

重復(fù)精度  ±0.5%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)

傳感器響應(yīng)時(shí)間  5ms

控制響應(yīng)時(shí)間  300ms

預(yù)熱時(shí)間  ≤1s

閥門  常閉式



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