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MFM330-微小流量氣體質量流量控制器
  • MFM330-微小流量氣體質量流量控制器
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貨物所在地:江蘇蘇州市

地: 蘇州市吳江區柳胥路99號 半導

更新時間:2025-05-14 15:31:40

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微小流量氣體質量流量控制器MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

微小流量氣體質量流量控制器MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

微小流量氣體質量流量控制器

產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

主要參數

介質要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  10,20,50,100,300,500 sccm

0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

測量范圍  0.5%-100% F.S.

準確度 ±0.5% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.001 sccm(<10L/min),1sccm(10-50L/min)

傳感器響應時間<1s

預熱時間 5 min(T95),30 分鐘最佳



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