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平替進口HORIBA氣體流量計 MFC300 產品采用單電源供電(15~40VDC)；可模擬 量和數字通訊（CAN、RS485、RS232）顯示和控制氣體流 量，可以直接跟本公司的 MFC 控制器配合使用，也可以 直接連電腦通訊，并通過數字通訊改變控制流量或通訊 設置；也可以連二次儀表顯示；具有多氣體測量，高精 度，高穩定性，極低零漂特性。
MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
產品特點
超快響應：5ms 測量響應，300ms控制響應
高重復性，寬量程比
更小體積，安裝方便
無需預熱，使用便捷
分階流量控制軟件，靈活配置
主要參數
介質要求 潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
測量和控制范圍 0.2%-100%F.S. （1:500）
準確度 ±0.5%F.S.
重復精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
傳感器響應時間 5ms
控制響應時間 300ms
預熱時間 ≤1s
閥門 常閉式
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