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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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SOPHI-400日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體兼容高能離子注入機(jī)
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- SOPHI-400 產(chǎn)品型號(hào)
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體兼容高能離子注入機(jī)
產(chǎn)品介紹
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體兼容高能離子注入機(jī)
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體兼容高能離子注入機(jī)
兼容高能離子注入機(jī)SOPHI-400
這是一種高能離子注入機(jī)，可處理高達(dá) 1200keV 的電壓。
中電流離子注入機(jī)IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機(jī)，非常適合大學(xué)的研發(fā)。
特征
單片式
兼容薄晶圓
平行光束
最大晶圓尺寸為8英寸，配備可處理不規(guī)則形狀基板的壓板。
除了氣體源之外，固體蒸發(fā)源也可用于易于安全處理 B、P 和 As 離子的離子源。
高壓端子部分與量產(chǎn)設(shè)備配置相同，確保高可靠性。
目的
功率器件薄基板工藝、IGBT工藝
規(guī)格
板材尺寸：Max200mm
最大電壓：Max1200 keV
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