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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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產品介紹
HOBIBA堀場 光纖式化學溶液濃度監測儀
HOBIBA堀場 光纖式化學溶液濃度監測儀
光纖式化學溶液濃度監測儀
CS-100F1 系列
基于光纖的在線實時化學品濃度監測器，可測量半導體制造過程（如清潔和蝕刻）中使用的化學品。
可以獲得在線實時測量。單個濃度監測器能夠同時測量多達四種類型（化學品或范圍），使其適用于單個晶圓清潔中的測量。
| 型 | CS-151F1 系列 | CS-152F1 系列 | CS-150F1 型 |
|---|---|---|---|
測量對象 | SC-1 （氨/過氧化 氫水溶液） | SC-2 （鹽酸/過氧化氫 水溶液） | SPM （硫酸/過氧化氫 水溶液） |
| 一個單元最多可提供 4 種化學溶液或范圍的多重監測。 | |||
| 測量原理 | 吸收光譜法 | ||
| 濃度計算 原理 | 溫度補償多變量分析 | ||
| 測量范圍 （質量 %） | H2O2： 0.00% 至 5.00% H2O： 94.0% 至 100.0% | HCI：0.00% 至 2.00% H2O2：0.00% 至 2.00% H2O： 96.0% 至 100.0% | H2所以4：70.0% 至 96.0% H2O2： 0.00% 至 10.00% H2O： 4.0% 至 30.0% |
| 重復性（質量 %） （±1% 室溫內） | H2O2： ±0.30% H2O： ±1.5% | HCI：±0.15% H2O2： ±0.15 % H2O： ±1.5% | H2所以4：±0.50% H2O2：±0.50% H2O： ±1.5% |
| ?上述列表的重復性是針對單元類型的。請聯系我們了解在線比色皿類型的可重復性。 ?根據測量范圍，上述列表可能會有所不同。（詳情請參閱我們的網站。 | |||
| 樣品溶液溫度 | 20 到 80：（使用 Inline Cell 時）20 到 30：（使用 Cell Unit 時） | ||
| 測量周期 | 約 3 秒 | ||
| LCD 和輸入的內容 | • 第 1 個組件：測得的濃度值 （%） •錯誤代碼 • 第 2 個組件：測得的濃度值 （%） •并聯濃度警報輸出無效狀態 • 第 3 個組件：測得的濃度值 （%） •串行/并聯狀態 • 第 1 個和第 2 個組件：濃度警報狀態 •背景補償數據 | ||
| RS-232C 串行輸入 | • 串行/并聯狀態切換 • 并聯濃度報警輸出狀態 • 測量數據傳輸請求（有效/無效） • 第 1 組分和第 2 組分濃度報警設置 • 目標測量溶液切換 | ||
| 并行輸入 | 12 至 30 V DC（光電耦合器絕緣） • 并聯濃度報警輸出 • 目標測量溶液切換 • 背景補償 | ||
| 并行輸出 | 集電極開路輸出（光電耦合器絕緣） • 第一成分濃度報警，4種 開啟時 最大電流： • 第二成分濃度報警，4種DC 5 mA（無內部保護電阻） • 設備錯誤 關閉時最大外加電壓：30 V DC • 測量 • 目標測量溶液類型 • 背景補償狀態 | ||
| 溶液溫度輸入 | 接線端子連接（M3 端子螺釘） • 鉑電阻溫度傳感器：Pt100（Pt100 傳感器應由客戶準備） | ||
| 模擬輸出 | • 第 1 組分濃度警報，4 種類型：4 至 20 mA • 第 2 組分濃度警報，4 種類型：4 至 20 mA ?我們還支持其他測量范圍。請在訂購時注明。 | ||
| 光纜 | 專用 CS-100F1 系列光纜（25 ±15：安裝溫度） | ||
| 樣品池 | 我們可以為各種化學溶液提供專用樣品池（在線池或池單元）。 | ||
| 電源 | 100 V 至 230 V AC（單相）±10%、50/60 Hz、約 100 VA | ||
| 尺寸 | 205 （W） x 329 （D） x 269 （H） mm 8.1 （W） x 13.0 （D） x 10.6 （H） 英寸（不包括突出部分） | ||
| 重量 | 約 11 kg | ||
