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北崎國際貿易（北京）有限公司
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產品介紹
ULVAC愛發科UR3601-TT多級羅茨干式真空泵
ULVAC愛發科UR3601-TT多級羅茨干式真空泵
可以在氣態下排放高溫區域熱均衡
CVD 和蝕刻產生的升華廢氣排放物。
“Model：UR" 甚至可以高于 “Model：HR"。
由于安裝了密封
性密封電機，因此非常安全。
瞬時停止：在 1000 毫秒內實施瞬時停止
措施。
優異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優異的特殊
表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內部的腐蝕。
通信功能：
可以讀取泵運行狀態和警告/警報歷史記錄數據。 通過使用專用軟件和計算機通信，可以進行集中監控。
用
CVD 設備
蝕刻設備
灰化裝置
ALD、ALH 等
我司代理及優勢品牌一覽明細：
代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈
NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗
優勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC
S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器
IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機
SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等
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