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原裝HORIBA堀場(chǎng)高溫磷酸濃度監(jiān)測(cè)儀CS-620F
原裝HORIBA堀場(chǎng)高溫磷酸濃度監(jiān)測(cè)儀CS-620F

地:日本

貨物所在地:北京北京市

更新時(shí)間:2025/1/6 11:15:15

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供應(yīng)簡(jiǎn)介
原裝HORIBA堀場(chǎng)高溫磷酸濃度監(jiān)測(cè)儀CS-620F
無(wú)需冷卻即可實(shí)時(shí)測(cè)量高溫磷酸的磷酸濃度監(jiān)測(cè)儀。
非常適合控制半導(dǎo)體制造工藝中使用的磷酸濃度,主要是3D NAND閃存的SiN層*1
蝕刻工藝。 *1 SiN層:在硅晶片等上形成的硅和氮化合物的薄膜。


詳細(xì)介紹

原裝HORIBA堀場(chǎng)高溫磷酸濃度監(jiān)測(cè)儀CS-620F

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高濃度/高溫兼容

循環(huán)管路中高濃度(高達(dá)92%)、高溫(140-170℃)的磷酸無(wú)需冷卻即可直接測(cè)量,因此無(wú)需冷卻機(jī)構(gòu)或冷卻時(shí)間。

污染風(fēng)險(xiǎn)低

通過(guò)使用 PFA 作為樣品連接部分,可以降低污染風(fēng)險(xiǎn)。

為了更快的反饋控制

每 3 秒更新一次測(cè)量數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)測(cè)量可實(shí)現(xiàn)更快的濃度反饋控制。

減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間

使用半年一次的背景校正周期可以減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間。


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