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進口HORIBA堀場多組分氣體混合裝置MU-3000
進口HORIBA堀場多組分氣體混合裝置MU-3000
濃度穩定的氣體生成
質量流量控制可生成濃度準確的混合氣體,而不受供給壓力或環境溫度變化的影響。
配備多氣體/多范圍功能模型質量流量控制器,支持多種氣體類型,允許客戶改變氣體類型和流量范圍。
易于使用的
專用軟件可讓您輕松設置生成氣體的流量和氣體濃度。
它具有編程功能,因此您可以創建自己喜歡的食譜。
兼容多種流量
兼容多種流量,從微小流量(幾個 SCCM)到大流量。
駕駛模式
手動:每條MFC線均可手動操作。
自動:根據預設配方(程序)進行操作。
本地:從 PC 啟動配方/停止配方(可選擇暫停)
遠程:通過外部信號啟動配方/停止配方(可選擇暫停)
顯示功能
瞬時流量設定值/瞬時流量值/累計流量顯示/總發生流量值/總發生流量累計值
可以設定并顯示產生的氣體濃度值。
電磁閥開/關狀態
配方運行狀態顯示(顯示各步驟的剩余步驟)
配方創建功能(程序功能)
每行最多可創建 50 個步驟的程序。
(包括斜坡上升/下降功能)
自帶循環功能
配方記憶功能/配方確認功能
每個流量的記錄功能
由于可以記錄產生的氣體的流量,因此可以保留操作狀態的記錄。
MFC自動調零功能
可通過 PC 軟件進行自動調零。
報警功能
●流量異常 ●外部異常報警 ●通訊異常
配備寬范圍MFC
配置軟件該
裝置配備了 MFC,允許客戶更改氣體類型和流量范圍。
您可以使用專用軟件(配置軟件)輕松更改 MFC 規格,而無需拆卸 MFC。
即使您更改MFC氣體類型或流量范圍,控制軟件也會自動加載MFC信息,使更改后的初始設置變得容易。
易于改變氣體類型
MFC的多氣體功能可以讓您輕松改變氣體類型。無需使用轉換系數進行校正,并且可以精確控制流量,因此在更換多個氣瓶時使用時非常有效。
寬范圍濃度產生
MFC的多范圍功能可以在不增加MFC的情況下大大擴展混合氣體的濃度范圍。由于可以在較寬的濃度范圍內生成,因此可以減少MFC生產線的數量并降低成本。
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