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UNECS-1500A華南代理ULVAC愛發科 光譜橢偏儀
參考價: 52000
訂貨量: 1
具體成交價以合同協議為準
  • UNECS-1500A 產品型號
  • ULVAC/日本愛發科 品牌
  • 代理商 廠商性質
  • 深圳市 所在地

訪問次數:86更新時間:2025-07-30 17:19:12

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產品簡介
產地類別 進口 價格區間 5萬-10萬
應用領域 環保,化工,制藥/生物制藥,綜合
華南代理ULVAC愛發科 UNECS-1500A光譜橢偏儀
華南代理ULVAC愛發科 光譜橢偏儀

高速光譜橢偏儀是一種用于快速測量薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器
產品介紹

華南代理ULVAC愛發科 光譜橢偏儀

華南代理ULVAC愛發科 光譜橢偏儀


高速光譜橢偏儀是一種用于快速測量薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器,以下將從其工作原理、主要特點、應用領域及部分型號產品參數等維度展開介紹:


  • 工作原理

    • 利用偏振光在樣品表面反射時偏振態的變化來獲取樣品的信息。當已知偏振態的線偏振光入射到樣品表面時,其在薄膜與基底的界面處發生反射和折射,反射光的偏振態(幅度和相位)會發生改變。通過測量反射光的偏振態變化,通常用復函數 ρ 來表示,而 ρ 又可以用 ψ 和?分別描述反射光 p 波與 s 波振幅衰減比和相位差,進而計算或擬合出材料的光學常數、膜層厚度等參數。

  • 主要特點

    • 測量速度快:能夠在短時間內完成大量測量點的數據采集,如 ULVAC 的 UNE CS 系列最快可在 20ms 內完成一次測量,HORIBA 的 UVISEL 相位調制型光譜橢偏儀 50ms 即可獲得數據,大大提高了測量效率,適用于在線監測和快速過程控制。

    • 測量精度高:可以精確測量薄膜厚度、折射率、消光系數等參數,厚度測量的重復性可低至 0.1nm,能夠滿足各種高精度測量需求。

      非接觸式測量:對樣品沒有破壞,也不需要真空環境,不會對被測樣品造成損傷,適用于各種易損或敏感材料的測量。

    • 光譜范圍寬:覆蓋從紫外到紅外的多個波段,如 M-2000 系列光譜范圍可從 193nm 延伸到 1690nm,不同的光譜范圍可以提供關于材料不同的信息,有助于對各種材料進行全面的分析。

    • 多種測量模式:具備多種測量模式和功能,如自動聚焦、自動變角、多點 Mapping 測量等,可根據不同的測量需求進行靈活配置。

  • 應用領域

    • 半導體行業:用于半導體材料的薄膜厚度監測、光刻膠厚度測量、半導體器件制造過程中的工藝控制等,如監測硅片上氧化層、氮化層、光刻膠等薄膜的厚度和光學性質,以確保半導體器件的性能和質量。

    • 光學鍍膜:對各種光學薄膜,如增透膜、高反膜、濾光膜等的厚度和折射率進行精確測量和控制,以實現光學元件的優良光學性能。

    • 光伏領域:在太陽能電池的研發和生產中,用于測量光伏材料的薄膜厚度和光學特性,如非晶硅、多晶硅、碲化鎘、銅銦鎵硒等薄膜材料,有助于優化電池結構,提高電池的光電轉換效率。

    • 顯示行業:用于液晶顯示器、有機發光二極管顯示器等顯示器件中薄膜材料的測量和質量控制,如測量液晶層、有機發光層、透明導電電極等薄膜的厚度和光學常數,確保顯示器件的顯示效果和性能。

    • 材料研究:在新材料的研發過程中,用于研究材料的光學性質、薄膜生長過程、材料微結構等,幫助科研人員了解材料的特性,開發出具有更好性能的新材料。

  • 部分型號產品參數

    • 測量速度:單點測量速度快至 0.3 秒,5 點含移動約 10 秒。

    • 光譜范圍:最寬可至 193nm-1690nm。

    • 測量速度:最快可達 20ms。

    • 光譜范圍:標準型為 530nm 至 750nm,可見光譜型為 380nm 至 760nm。

    • 測量速度:可在小于 1 秒的時間內測量 390 個以上波長。

    • 光譜范圍:M-2000 V 為 370nm 至 1000nm;M-2000 U/X 為 245nm 至 1000nm;M-2000 D 為 193nm 至 1000nm,NIR 擴展后可達 1010nm 至 1690nm。

    • 入射角:計算機控制的入射角范圍為 20° 至 90°(垂直)或 45° 至 90°(水平)。

    • M-2000 系列

    • UNE CS 系列

    • COSE PV 6.1M






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