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更新時(shí)間：2025-06-30 11:42:30
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SID4-UV-HR是Phasics針對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用市場(chǎng)需求推出的高性能的紫外波前分析儀，波長(zhǎng)范圍覆蓋190nm~400nm，靶面尺寸為13.3X13.3mm2，提供512X512的采樣率，同時(shí)能夠提供26um的相位空間分辨率；該產(chǎn)品大的靶面設(shè)計(jì)及高達(dá)512X512的相位分辨率，滿足了目前半導(dǎo)體紫外鏡頭的表征測(cè)試需求；
應(yīng)用領(lǐng)域：193nm激光光束測(cè)量
半導(dǎo)體設(shè)備用鏡頭測(cè)量
半導(dǎo)體表面缺陷測(cè)量
SID4-UV-HR指標(biāo)規(guī)格 | |
波長(zhǎng)范圍 | 190nm~400nm |
靶面尺寸 | 13.3X13.3mm2 |
相位空間分辨率 | 26um |
相位譜&光強(qiáng)譜采樣率 | 512X512 |
相位分辨率 | <2nm RMS |
精度 | 20nm RMS |
采樣頻率 | 15fps |
實(shí)時(shí)相位輸出頻率 | 3fps（全分辨率） |
通信接口 | USB3.0 |
尺寸 | 80.3 x 78.6x 108.2mm3 |
重量 | 約600g |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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