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更新時(shí)間：2025-06-30 11:42:16
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SID4-UV是Phasics針對半導(dǎo)體應(yīng)用市場需求推出的一款高性價(jià)比的紫外波前分析儀，波長范圍覆蓋190nm~400nm，靶面尺寸為7.8X7.8mm2，提供300X300的采樣率，同時(shí)能夠提供26um的相位空間分辨率；該產(chǎn)品既能夠滿足深紫外激光器的高分辨率測量要求，也能夠滿足半導(dǎo)體的光學(xué)器件的品質(zhì)管控測量和半導(dǎo)體晶圓面型的測量；
應(yīng)用領(lǐng)域：193nm激光光束測量
半導(dǎo)體設(shè)備用鏡頭測量
半導(dǎo)體表面缺陷測量
SID4-UV指標(biāo)規(guī)格 | |
波長范圍 | 190nm~400nm |
靶面尺寸 | 7.8X7.8mm2 |
相位空間分辨率 | 26um |
相位譜&光強(qiáng)譜采樣率 | 300X300 |
相位分辨率 | <2nm RMS |
精度 | 15nm RMS |
采樣頻率 | 15fps |
實(shí)時(shí)相位輸出頻率 | 2fps（全分辨率） |
通信接口 | Giga Ethernet |
尺寸 | 74 x 71 x 91 mm3 |
重量 | 約600g |
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