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更新時(shí)間:2025-06-25 08:09:24
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應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體檢測;
碳化硅PL缺陷檢測;
MicroLED巨量檢測;
光學(xué)光柵母版;
流式細(xì)胞儀;
紫外拉曼光譜;
Skylark 320NX 系列激光器是Skylark公司推出的單頻半導(dǎo)體泵浦激光器,該激光器輸出可達(dá)200mW,而且具有極窄的線寬(<0.5MHz),提供極高的光譜穩(wěn)定性(<1pm@8h)和功率穩(wěn)定性(<2%@8h),同時(shí)作為單頻激光器,其光譜純凈,噪聲也遠(yuǎn)低于目前市面上的紫外氣體激光器,非常適用于紫外的拉曼檢測、全息實(shí)驗(yàn)及光刻應(yīng)用;
圖2、349NX激光器得到的拉曼峰圖
激光器種類 | Skylark NX系列 | HeCd | Ar離子激光器 |
功率 | ★★★★ | ★ | ★★ |
壽命 | ★★★★ | ★★ | ★★ |
體積 | ★ | ★★★★ | ★★ |
成本 | ★ | ★★★ | ★★★★★ |
表1、不同激光器對比表
紫外單頻半導(dǎo)體泵浦激光器技術(shù)規(guī)格 | ||
型號 | 320NX | 349NX |
輸出功率 | 200mW | 400mW |
波長 | 320nm | 349nm |
光譜帶寬 | ≤0.5MHz | ≤0.5MHz |
空間模式 | TEM00 | TEM00 |
光譜穩(wěn)定性 | ± 0.2 pm@8h | ± 0.2 pm@8h |
相干長度 | >100m | >100m |
輸出功率穩(wěn)定性 | ≤2%@8h | ≤2%@8h |
輸出功率噪聲 | ≤0.1% RMS | ≤0.1% RMS |
發(fā)散角 | 1.0mrad(衍射極限) | 1.0mrad(衍射極限) |
光斑尺寸 | 0.5~1mm | 0.5~1mm |
光束指向穩(wěn)定性 | ≤5urad/℃ | ≤5urad/℃ |
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