特點

無懼重量限制-無限的測量能力

600 x 600mm的寬廣移動范圍，每秒1米的驚人速度。閉環XY龍門架設計，無懼重量限制，性能始終如一。

安心使用

經認證可用于半導體表征，該系統經過精心設計，符合SEMI S2和S8等多項行業標準，并通過了德國萊茵TÜV認證。

三合一技術

超高的測量通用性，無塵測量頭S neox Cleanroom提供三種不同的光學技術，可針對每個特定樣品使用適合的技術進行成像，實現亞納米級精度。

嚴格符合ISO 1級別

適用于無塵間，測量傳感器符合 ISO 1 級標準。機身由不銹鋼制成，可減少微粒排放。

軟件

內置采集軟件：一體化軟件解決方案

該測量系統由易于使用的SensoSCAN控制，它為測量自動化提供了更多且更強大的功能。

SensoPRO-快速質量控制

基于插件的解決方案，SensoPRO擁有大量插件，可滿足常見的自動化分析需求和定制應用。

為消費電子產品量身定制的解決方案

SensoPRO軟件可在質量控制中實現分析自動化，高效處理大量數據。我們提供了一系列定制插件，以滿足消費電子行業的特殊要求。

SensoVIEW-功能強大的分析軟件

拓寬分析視野,SensoVIEW是適用于各種任務的理想分析軟件。它擁有一套完整的工具包，可從二維和三維數據集中提取數據。

表面分析

SensoVIEW為專門的操作人員提供了用戶友好型的分步式界面，可按照相應的ISO標準提取平面度和表面紋理參數、進行體積計算等。

尺寸測量

有多種工具可用于輪廓和剖面圖的關鍵尺寸分析。每種工具都配備了自動調整功能，并能納入公差，確保能進行全面的尺寸分析。

規格

技術

照明光源

尺寸（mm/"）

物鏡-明場

物鏡-干涉

PSI/ePSI/CSI

龍門式XY平臺

標準認證