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日本武藏FIS1000涂布質量檢測儀成都提供
日本武藏FIS1000涂布質量檢測儀成都提供
多模態檢測系統
集成激光位移傳感器(±1.5μm厚度分辨率)、高分辨率CCD(0.01mm2缺陷識別)及紅外熱成像模塊(固化狀態分析),實現涂布工藝全參數閉環監控。支持250×330mm大尺寸基板檢測,兼容卷對卷(R2R)和片材(Sheet)兩種進料模式。
智能產線協同
通過SMEMA協議與MES系統直連,實時上傳涂層厚度分布熱力圖與NG坐標數據,聯動機械臂實現自動分揀(分揀精度±0.5mm),每小時可處理600片標準PCB板。內置武藏算法,可識別16類涂布缺陷(包括氣泡、橘皮、龜裂等)并自動歸類統計。
半導體封裝
針對芯片Underfill工藝開發專用檢測模式,可捕捉微米級溢膠和填充不均問題,將BGA封裝良率提升至99.97%。
新能源電池
配備防爆模塊,適用于鋰電池極片涂布檢測,實時監控面密度波動(CV值≤1.2%),配合涂布機實現閉環PID調節。
顯示面板
采用抗眩光光學設計,可檢測OLED柔性基板上的納米銀線涂布均勻性,最小識別線寬達3μm。
項目參數檢測速度15秒/片(標準模式)重復精度X/Y軸±1μm,Z軸±0.5μm通訊接口SECS/GEM、PROFINET、EtherCAT功耗3.5kW(滿載)環境要求溫度23±2℃,濕度50±10%RH
提供遠程診斷(5G模塊預裝)、季度校準服務(含NIST溯源證書)、以及涂布工藝優化咨詢,確保設備OEE≥95%。
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