日本MITUTOYO超高精度CNC三次元測量機LEGEX

日本MITUTOYO超高精度CNC三次元測量機LEGEX

日本三豐LEGEX系列超高精度CNC三次元測量機代表著當今工業測量技術的強力之作，專為滿足納米級精密測量需求而設計。該產品采用了多項突破性技術創新，在測量精度、環境適應性和智能化程度方面都樹立了行業新標準。

核心技術創新LEGEX系列顯著的技術突破在于其革命性的測量系統架構。采用三豐的"超穩定框架設計"，通過復合碳纖維材料和特殊合金的優化組合，實現了之前沒有過的結構穩定性。測量系統搭載納米級分辨率的光柵尺，分辨率達到0.01μm，配合高剛性氣浮導軌，確保了測量過程中的絕對平穩性。創新的主動隔振系統可以實時監測并抵消環境振動，即使在普通車間環境下也能保持穩定的測量性能。

環境控制系統為達到納米級測量精度，LEGEX系列配備了完善的環境控制系統。包括：

1. 多區域溫度補償系統：采用16點溫度傳感器網絡，實時監測設備各部位溫度變化

2. 主動恒溫系統：內置精密溫控裝置，可將設備核心區域溫度波動控制在±0.1℃范圍內

3. 氣流管理系統：設計的層流系統，有效隔離外界氣流干擾

智能測量系統LEGEX系列搭載三豐最新研發的M-ULTRA智能控制系統，具有以下特點：

• 支持5軸聯動納米級測量

• 自動測頭識別與校準功能

• 智能路徑規劃算法

• 實時誤差補償技術

應用領域該系列產品主要服務于以下制造領域：

1. 半導體制造：晶圓檢測、光刻機零部件測量

2. 精密光學：透鏡、棱鏡等光學元件檢測

3. 航空航天：發動機葉片、精密結構件測量

4. 醫療器械：人工關節、精密手術器械檢測

服務支持三豐為LEGEX系列提供的技術支持：

• 專業實驗室環境評估

• 定制化測量方案設計

• 定期精度認證服務

• 專屬技術團隊支持

LEGEX系列不僅是一臺測量設備，更是推動制造業向納米級精度邁進的關鍵工具，為制造領域提供了可靠的質控保障。