ONOSOKKI小野 亞微米級位移傳感器 GS-3830B

ONOSOKKI小野 亞微米級位移傳感器 GS-3830B

高分辨率數字式位移傳感器

GS-3813B/GS-3830B

分辨率0.1µm

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產品介紹

傳感器/ 測量設備

尺寸和位移測量

GS-3813B/3830

左側：GS-3830B 右側：GS-3813B

GS-3813B/GS-3830B 是一款亞微米級數字式位移傳感器，具有高度耐用的軸承和 IP66G 防塵防水性能；適用于集成在自動化設備中進行產線內的測量，并具有高分辨率。

采用滾珠花鍵軸承和新研發的光學系統，得以實現既具有高分辨率又具有各種環境下都可使用的性能。

檢測信號可以輸出為方波（線路驅動器輸出），從而可以直接連接到 PLC。

使用 GS-3813B/GS-3830B 數字式位移傳感器時，需要配套 DG-5100 數字式位移計數器。

DG-5100數字式位移計數器

特征

高分辨率化

1 µm → 0.1 µm

保護等級 IP66G

實現防塵、防水，以及耐油性

大幅提升了軸承壽命和耐環境性能，

高分辨率類型也可集成于自動化設備

?軸承壽命 滑動耐久次數 500萬次 → 1500 萬次

?耐振動 98 m/s2 → 196 m/s2

?耐沖擊 980 m/s2→ 1960 m/s2

應用實例

對激光和其他光學系統中使用的玻璃元件進行高精度尺寸測量。

針對用于激光設備的玻璃部件等，在研磨加工過程中使用擁有高精度的接觸式位移傳感器進行尺寸檢查，以確保中間工序的精度，然后將其送往最終的光學檢查工序。

以1 µm的精度測量硅晶片厚度

高精度數字式位移傳感器可憑借1 µm的精度測量硅晶片的厚度； 針對4 英寸以下的較小硅晶片的測試時可使用 ST-0230 傳感器支架。

測量硅晶片等具有彎曲的材料的高精度厚度。

針對像硅晶片這樣具有彎曲的板狀材料進行高精度的厚度測量。為了避免受到彎曲的影響，采用了特殊的支架結構，其中讓“凸面"接住GS-3813B數字式位移傳感器的測量頭，其余的四個點由銷釘支撐。

通過將GS-3813B數字式位移傳感器的測量頭中心與硅晶片的“凸面"中心對準，可以幾乎不受彎曲影響地進行厚度測量。測量數據可以通過RS-232C接口傳輸到電腦，從而進行統計處理等二次處理。

規格

GS-3813B

GS-3830B

測量范圍

13毫米

30毫米

配套計數器

DG-5100

分辨率

0.1 微米

顯示精度(20 ℃時)

1 微米

最大響應速度 ※1

300毫米/秒（1.2米/秒）

測量力(向下) ※2

2.3 N 以下

2.7 N 以下

測量力調整范圍(選配功能)※2

0.9～2.3牛

1.6～2.2牛頓

測量力調整范圍(選配功能)※3

2.7～3.0牛

（不可）

滑動耐久次數

1500萬次

保護等級(不含接插頭部份)

IP66G

軸桿直徑

φ15毫米+0-0.009

電源

直流4.5～5.5V

消耗電流(使用DC 5 V)

150 mA 以下

信號輸出(使用DC 5 V)

90°相位差差動方波 符合RS422A標準的線驅動輸出(相當于26C31)

耐振(未通電時) ※4

196 m/s2 196 m/s2 3軸各方向(各75分鐘)10 Hz至150 Hz掃頻 10周期

耐沖擊(未通電時)※4

1960 m/s2 3軸各方向各朝向 ±X,Y,Z各3次 正弦半波 作用時間6 ms

使用溫度范圍

0～40℃

保存溫度范圍

－10～55℃

電纜長度

約 5 m

重量(包含電纜，接插頭)

約 350 g

約 420 g

附屬品

使用說明書，板手

選配件

?AA-969 手動提升器

?ST-0230、ST-044B (僅GS-3830可使用) 傳感器支架

?AA-4104 (13 mm)／4105 (30 mm) 替換用防塵橡膠套管

?AA-844 (30 mm)／845 (50 mm) 延長測量桿

?各種 測量頭

?AA-3310 安裝夾具

?AA-8901 (5 m)／AA-8902 (10 m)／AA-8903 (20 m)／AA-8904 (30 m) 延長電纜

數字式位移傳感器用信號電纜及配件

※1 （ ）內為使用本公司數字式位移計數器DG-5100時的電氣響應速度。

※2 向上方向使用時，測量桿有可能不能 復位。

※3 這是將位移傳感器改造成能夠向上使用的變更范圍。（數值為向下測量時的力）。

※4 測量中的耐振耐沖擊性能，規格表所示的性能值不與保證。

※ 信號電纜若中途剪斷或進行改造，將不符合CE標志要求。

關聯信息

數字式位移傳感器相關儀器

外觀圖（英文-PDF）

產品樣本（中文-PDF）

尺寸與位移測量應用例

最終更新日:2025/03/03

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