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KASHIYAMA日本樫山真空泵MU300XE的特點

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KASHIYAMA日本樫山真空泵MU300XE的特點

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無油潔凈:采用無油干式技術,通過精密嚙合的螺桿式 / 爪式轉子結構實現氣體壓縮,全程無潤滑油,可避免油蒸氣對工藝腔體的污染,適用于如晶圓加工等對潔凈度要求敏感工藝。

抽速高:最大抽速可達 3000L/min,能夠快速有效地抽取氣體,可適應中高負載的真空需求,滿足如真空鍍膜系統、等離子清洗設備等對抽氣速度有較高要求的設備。

極限壓力低:極限壓力為 1.5Pa,可獲得較高的真空度,能滿足一些對真空環境要求較為苛刻的工藝需求。

耐腐蝕:轉子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層,能夠耐受酸性氣體(如 HCl、Cl?)和顆粒物,可應用于有腐蝕性氣體的環境。

節能高效:配備低功耗電機,功率約 0.5kW,運行能效比優于同類產品;同時采用變頻驅動(VFD)調節轉速,能耗較油封泵可降低 30% - 50%。

結構緊湊:尺寸為 550×280×299mm,重量約 95kg,占地面積小,便于安裝在空間有限的設備中,適合設備集成和改造項目。

智能控制:具有實時參數顯示功能,可通過觸摸屏或遠程接口(Modbus / 以太網)輸出真空度、溫度、功耗等數據;還配備自診斷系統,通過振動、溫度傳感器對異常情況(如過載或異物進入)進行預警,并自動停機保護。

維護便捷:采用模塊化結構,簡化了檢修流程,無需復雜的拆卸和組裝過程,可降低維護成本和停機時間。

電源適應性強:電源為三相 AC200 - 220V,50/60Hz,能適應多種電力供應環境,方便在不同地區和場合使用。




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