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供應(yīng)簡(jiǎn)介

螺桿式真空泵是一種真空泵，其中泵殼中的螺桿轉(zhuǎn)子將流體引導(dǎo)到網(wǎng)狀間隙中并旋轉(zhuǎn)它以沿軸向連續(xù)移動(dòng)流體。

詳細(xì)介紹

ULVAC愛(ài)發(fā)科螺桿式干式真空泵

長(zhǎng)處

通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊表面處理，實(shí)現(xiàn)了高耐腐蝕性。

螺旋式轉(zhuǎn)子軸具有 ULVAC特別的設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高粉末排放。

可在從大氣壓到極限壓力的整個(gè)壓力范圍內(nèi)連續(xù)運(yùn)行。

用

電子元件和半導(dǎo)體制造設(shè)備、

蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)

真空熱處理爐、

燒結(jié)爐、滲碳爐等的真空排氣系統(tǒng)

鋰電池制造設(shè)備、

電極干燥設(shè)備、消泡設(shè)備、注液設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)。

醫(yī)療和食品相關(guān)設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)、

冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

* MS1200A具有單獨(dú)的規(guī)格，帶有額外的控制板和傳感器。

規(guī)范

型		MS120A 系列	MS600A 系列	MS1200A
最大抽速 *1	m³/小時(shí)	115	560	980
極限壓力	帕	≦0.6	≦0.1
電源電壓		三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或三相，50/60Hz，AC380-480V±10%
近似功耗 *2	千瓦	2.4	3.1	3.1
冷卻水量	升/分鐘	>4.0
吹掃氣體量 *1	SLM 系列	0~50
最大水蒸氣吞吐量 13	公斤/小時(shí)	1.5
噪音水平 *2	分貝（A）	61	62	64
進(jìn)氣口		KF50 （水平） / VG50 （垂直）	ISO-F-80 認(rèn)證	ISO-F-100 認(rèn)證
排氣口		肯氟烴40
重量*4	公斤	139	241	264
法規(guī)遵從性		CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)配件		快速手冊(cè)、電源連接器、防水電纜夾、信號(hào)連接器、電源連接器防護(hù)罩、專用消音器 1 套
主機(jī)選項(xiàng)		電源電壓：200 V 級(jí)或 400 V 級(jí) 密封材料：氟橡膠（FKM）或全氟彈性體（FFKM）
外部選項(xiàng)		外殼排氣口、抗震裝置、LR 兼容單元（進(jìn)氣口、信號(hào)）、吹掃氣體閥

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