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供應簡介

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵。在 FPD、電子和半導體行業(yè)等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。最常見的泵之一是羅茨干式真空泵。

詳細介紹

ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

長處

排氣室是非接觸式的，不使用油，因此可以長時間穩(wěn)定排氣。

由于不需要冷卻水和氮氣，因此有助于降低運行成本。

配備直流屏蔽電機，節(jié)能、密閉、輕量化。

氣鎮(zhèn)機構(gòu)可實現(xiàn)蒸汽排放。

標準：CE、cTUVus

用

真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體

真空干燥等水蒸氣排放（必須使用氣鎮(zhèn)）

用于濺射、氣相沉積等的真空設備。

規(guī)范

*1：極限壓力是沒有氣鎮(zhèn)氣時的值。
*2：請從上面選擇您正在使用的電源和電壓，并在訂購時告知我們。
*3：氣鎮(zhèn)閥為選配。
*4：這是使用氣鎮(zhèn)時處理的最大蒸汽量。排出蒸汽時請務必使用氣鎮(zhèn)。

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