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供應(yīng)簡(jiǎn)介

多級(jí)羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。最常見的泵之一是羅茨干式真空泵。

詳細(xì)介紹

ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵

長(zhǎng)處

排氣室是非接觸式的，不使用油，因此可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定排氣。

由于不需要冷卻水和氮?dú)猓虼擞兄诮档瓦\(yùn)行成本。

配備直流屏蔽電機(jī)，節(jié)能、密閉、輕量化。

氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)蒸汽排放。

標(biāo)準(zhǔn)：CE、cTUVus

用

真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體

真空干燥等水蒸氣排放（必須使用氣鎮(zhèn)）

用于濺射、氣相沉積等的真空設(shè)備。

規(guī)范

型		CR16B 系列	CR30B 系列	CR60B-S 系列	CR60B-T 型	CR300B 系列
最大抽速	m³/小時(shí)	16	30	55		300
	升/分鐘	280	500	920		5000
極限壓力 *1	帕	≦3.0				≦0.5
最大入口壓力		氣壓
最大排氣口壓力		氣壓
電源電壓 *2		單相：100 V、200 V 三相：200 V		單相：200V	三相：200V	三相：200V
電機(jī)額定值	千瓦	0.72		1.5		3.0
進(jìn)氣口		KF25 系列		肯氟烴40		KF50 系列
排氣口		KF25 系列		肯氟烴40
質(zhì)量	公斤	35		48		100
法規(guī)遵從性		CE、cTUVus
冷卻方式		風(fēng)冷
氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu) *3		存在
最大蒸汽處理量 *4	克/小時(shí)	<300		<500
標(biāo)準(zhǔn)配件		電源連接器、信號(hào)連接器、使用說明書、空氣過濾器、防護(hù)裝置

*1：極限壓力是沒有氣鎮(zhèn)氣時(shí)的值。
*2：請(qǐng)從上面選擇您正在使用的電源和電壓，并在訂購(gòu)時(shí)告知我們。
*3：氣鎮(zhèn)閥為選配。
*4：這是使用氣鎮(zhèn)時(shí)處理的最大蒸汽量。排出蒸汽時(shí)請(qǐng)務(wù)必使用氣鎮(zhèn)。

主機(jī)選項(xiàng)

	規(guī)范	CR16B 系列	CR30B 系列	CR60B 系列	CR300B 系列
氣鎮(zhèn)機(jī)制	手動(dòng) （針閥）	〇	〇	〇	〇
	電磁閥 + 手動(dòng) （針閥）	〇	〇	〇	〇
橡膠腳墊	-	〇	〇	〇	-

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主機(jī)選項(xiàng)

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