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供應(yīng)簡介

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵。在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。最常見的泵之一是羅茨干式真空泵。

詳細介紹

ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

長處

有助于節(jié)能將干式真空泵的功耗降低

高達 80%（與本公司相比），

還具有抑制干泵發(fā)熱的作用，可降低空調(diào)設(shè)備的功耗。

* 不能用于排放易燃、易燃、有毒氣體等的泵。

提高干泵的性能提高極限壓力性能降低

排氣噪音降低排氣速度在連續(xù)運行時間不超過

1000 Pa 的應(yīng)用中實現(xiàn)

高效率

*可安裝在排氣口抽真空沒有問題的干泵上。

易于安裝

用

干式真空泵用于抽空空氣、氮氣和氬氣等惰性氣體

用于濺射制備室和取出室的干式真空泵

規(guī)范

型		ES10 系列	ES4A 系列
權(quán)力	規(guī)范	單相 AC100V-220V 50/60Hz	單相 AC200V~220V±5% 50/60Hz
	功耗	65W *1	400瓦
控制	輸入	遠程啟動/停止（觸點 24V 直流電壓）觸點容量：準備 2.0A 或更高的非電壓觸點。 *2
	輸出	過流報警輸出（觸點無電壓）觸點容量：DC24V 1.0A	啟動確認、節(jié)能確認、主機報警、過流報警
	指示	顯示行駛時間	動作時間、啟動確認、節(jié)能確認、主機警報、過流警報
外形尺寸	主機	175 毫米 x 330 毫米 x 240 毫米	250 毫米 x 475 毫米 x 373 毫米
	閥單元	Φ66mm x 110mm（凈重40） *3	它是可選的。
質(zhì)量		本體單位：9.2 公斤閥門單位：800 克	32 公斤
連接	連接端口	已安裝 G1/4“（入口、出口）連接器	Φ16mm 管接頭（推薦 1.5m 或更小）

*1：干泵中使用的工藝氣體和吹掃氣體 0Pam3/s
*2：當 ES4A 手動啟動或停止時，可以通過跳轉(zhuǎn)控制連接器上的 PIN 來打開和關(guān)閉
電路保護器。
*3：ES10 標配閥單元。

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