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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> LR60-ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵
所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時(shí)間：2025/6/9 9:37:53
訪問(wèn)次數(shù)：14
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ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵
ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵
長(zhǎng)處
除了低溫整平（型號(hào)：LR）
PVD 工藝外，它還特別適用于制備室和取出室的排氣，在這些地方，縮短抽氣時(shí)間對(duì)于提高產(chǎn)量很重要。
由于其密封結(jié)構(gòu)，由于其密封
結(jié)構(gòu)，它非常安全。
瞬時(shí)停止：在 1000 毫秒內(nèi)實(shí)施瞬時(shí)停止
措施。
優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊
表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時(shí)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能：
可以讀取泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報(bào)歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過(guò)使用專(zhuān)用軟件和計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。
用
成膜設(shè)備（濺射設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等）
減少準(zhǔn)備室和取出室的排氣時(shí)間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵的輔助排氣、機(jī)械增壓泵）
規(guī)范
| 型 | LR60 系列 | LR90 系列 | LR180型 | LR421 系列 | LR421-T | ||
| 最大抽速 | 50 赫茲 | m3/h （升/分鐘） | 62 (1030) | 112 (1860) | 183 (3100) | 440 (7333) | |
| 60 赫茲 | m3/h （升/分鐘） | 80 (1333) | 126 (2100) | 237 (3950) | 440 (7333) | ||
| 極限壓力 | 5.0 帕 | ||||||
| 最大入口壓力（入口壓力） | 氣壓 | ||||||
| 最大排氣口壓力（排氣壓力） | 1Pa ~ 大氣壓 | ||||||
| 進(jìn)氣口 （CE 規(guī)格） | VG50（KF50） 系列 | VG80型 （KF50） | VG100 系列 | ||||
| 排氣口 | 肯氟烴40 | VG50 系列 | |||||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 180 | 245 | 335 | 415 | ||
| 電力 *1 | 三個(gè)階段 | VAC （赫茲） | 200 (50/60) , 220 (60) | 180~240 / 380~440 （50/60） | |||
| 當(dāng)前值 | 穩(wěn)態(tài) | 一個(gè) | 200V 時(shí)為 6.9 | 200V 時(shí)為 11.2 | 200V 時(shí)為 18.9 | 200V 時(shí)為 20.8 | |
| 最大值 | 一個(gè) | 200V 時(shí)為 7.3 | 200V 時(shí)為 11.8 | 200V 時(shí)為 20.6 | 200V 時(shí)為 48.5 | ||
| 冷卻水臨時(shí)壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||
| 冷卻水入口/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | >0.2 | ||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | >4.0 | ||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||
| N2 吹掃 | 軸 | SLM 系列 | 5 | ||||
| 加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 | 沒(méi)有 | 0~45 | |||
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